我国科学家突破铁电晶体管微缩三重困境

日期:2026-02-05  来源: 交叉科学部     作者: 丁旭旻、申茜   【 】   【 打印 】  【 关闭

  在国家自然科学基金(批准号:T2588301)等资助下,北京大学彭海琳教授团队与合作者开发了一种新型高介电常数(κ)范德华铁电材料α-硒酸铋(Bi2SeO5),并构筑了工作电压超低(0.8 V)、耐久性极高(可循环1.5×1012次以上)的铁电晶体管及存内逻辑电路,其综合性能显著超越了现有工业级铪基铁电体系。相关成果以“晶圆级超薄且均匀的范德华铁电氧化物(Wafer-scale ultrathin and uniform van der Waals ferroelectric oxide)”为题,于2026年1月29日在《科学》(Science)期刊上发表,论文链接:http://dx.doi.org/10.1126/science.adz1655。

  在人工智能时代,具有快速翻转极化特性的铁电材料,为发展存算一体架构、突破现有架构“功耗墙”与“存储墙”提供了机遇。其中,铁电场效应晶体管兼具逻辑与存储功能,被视为构建下一代高能效嵌入式存储器与存算一体芯片的核心器件。目前,晶圆级均匀、稳定超薄铁电薄膜的制备是限制铁电器件实用化的关键挑战。如何在原子级厚度下保持铁电特性并实现可靠、一致的晶圆级集成,已成为研制高能效铁电存算一体芯片必须攻克的核心难题。

  针对以上问题,研究团队设计并开发了新型铋基二维铁电材料α-Bi2SeO5,建立了一套后道工艺兼容(≤400 °C)的原位氧化制备方法,首次在晶圆级尺度上实现了超薄、均匀铁电薄膜及其异质结构的可控制备。基于该材料体系,研究团队成功制备了高性能铁电晶体管,在0.8 V超低电压和20 ns高速写入条件下,实现了超过1.5×1012次的循环耐久性,同时具备超过10年的保持时间、5 bit多级存储态以及2.8 fJ bit−1 μm−2的超低能耗,已超越同类型器件的工业最高水平。进一步构建的可动态重构存内逻辑运算电路在CMOS常规低工作电压(<1 V)下即可实现“一器两用”的可重构逻辑功能。该工作同时突破了铁电材料制备与铁电器件性能极限,为下一代高性能、低功耗芯片技术提供了全新的材料平台与集成方案,标志着“超越摩尔”路线实现了从材料创新到功能验证的重要跨越。


图 晶圆级二维高κ铁电氧化物体系及高性能铁电晶体管