2021年5月8-9日，国家自然科学基金委员会（以下简称自然科学基金委）第282期双清论坛在北京举办，论坛主题为“光学微加工前沿”。本期论坛由自然科学基金委信息科学部、数理科学部、工程与材料科学部、交叉科学部和计划与政策局联合主办，中国科学院光电技术研究所罗先刚院士、大连理工大学郭东明院士和中国工程院吕跃广院士共同担任论坛主席。自然科学基金委党组成员、副主任陆建华院士，信息科学部主任郝跃院士，相关科学部和政策局的有关同志，以及来自高等院校、中国科学院和华为海思有限公司等29家单位的专家学者参加了本次论坛。论坛开幕式由信息科学部常务副主任张兆田主持。
陆建华副主任在开幕式致辞中指出，双清论坛是自然科学基金委组织的战略性学术研讨会议，主要研讨面向世界科学前沿和面向国家重大需求的前瞻性、综合性与交叉性科学问题。他强调，光学微加工是国家高端制造业水平的重要标志，未来芯片与器件对传统光学微加工技术提出了挑战，这给我国带来了新的机遇，急需发展光学微加工的新原理、新方法、新材料和新技术。陆建华副主任希望与会专家围绕论坛主题，深入研讨该领域的真正难点，凝练和发现存在的重大科学问题，准确把握科学前沿及技术发展方向，从源头创新找到科学发展的突破点，为自然科学基金在该领域的基础研究布局和发展提供重要参考。
本次论坛围绕光学微加工技术在未来芯片制造中面临的挑战和发展趋势，共安排了4个主题报告、18个大会报告和1场集中研讨。与会专家结合各自研究工作，就微加工过程中光与物质的相互作用机理、新原理高分辨光刻技术及系统、未来芯片与器件三个议题进行了充分交流，深入研讨了领域研究的现状、热点、难点及发展趋势，凝练了领域未来发展的核心问题，对未来5-10年自然科学基金如何支持光学微加工领域的研究提出了具体建议。