——　第四部分 国家杰出青年科学基金获得者选介　——

刘　俊 2012年度国家杰出青年科学基金获得者

　　刘俊教授主要从事恶劣环境下微纳传感系统基础理论与测量研究。主要成果包括：

　　1．面向国防武器装备研制过程中的高温、高压、高过载等传感与测量环境，建立了“黑障区”环境下动态测试及系统多层界面应力吸收的封装和防护方法，为我国武器武器型号研制提供了动态参数测试系统。

　　2．提出了“隔转止旋”的多级传递高速旋转飞行体姿态精确测量理论，发明了惯性器件可溯源的高精度标定方法，建立了专用动、静态测试标定系统，并成功应用于我国多种常规武器型号的智能化改造中。

　　3．在微纳结构传感基础理论方面，揭示了高灵敏力-电/力-光耦合指数关系的微纳结构的传感机理，发明了多种基于指数效应的微机械传感器；揭示了高冲击过载环境下传感器件的失效机理，发明了20万g高过载压阻式硅微机械加速度传感器，打破了国际封锁，并成功的应用于多个武器型号的侵彻测试中。

　　刘俊教授现任中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、电子测试技术国防科技重点实验室、微纳惯性传感及其集成测量系统教育部工程中心主任。获得国家级科技成果奖3项，国家级教学成果奖1项，省部级科技成果奖12项。入选了“新世纪国家百千万人才工程”国家级层次、“教育部新世纪优秀人才支持计划”和教育部“长江学者和创新团队发展计划”创新团队带头人，获得了“全国五一劳动奖章”，被授予“山西省中青年拔尖创新人才”、“山西省模范教师”等荣誉称号。

　　在国家杰出青年科学基金的资助下，刘俊教授主要深入开展集成光波导微惯性器件基础研究。结合CMOS工艺，实现光源、波导、耦合器、调制解调器等单元进行硅基单芯片跨尺度集成；采用最小化的纳米光波导表面平滑机理，实现器件的纳米精度、亚纳米光滑度的制造；探索纳米光波导高Q值微腔耦合增强效应，实现高精度的惯性参数测量。为我国航空航天、深空探测以及微型空间飞行器提供一种新型的高精度微纳惯性传感器件。